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產品型號：SEC-Z522MGX
更新日期：2025-04-01簡要描述：SEC-Z522MGX horiba高精度氣體質量流量計Z522/Z532/Z542小量程0-20sccm，大量程0-200SLM高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)模擬信號輸出：0-5VDC，可選數字通訊RS485 F-Net協議
SEC-Z522MGX horiba高精度氣體質量流量計Z522/Z532/Z542
量程0-20SLM、0-200SLM，RS485通訊/0-5VDC
暢銷型號：SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。
可選低成本數字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
可選低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
國內組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300
國內組裝數字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212
產品介紹：
氣體質量流量計又稱氣體質量流量控制器，簡稱MFC。
主要功能是：控制器管路中的流量達到期望的設定值，同時反饋實際的流量信號到上位機。
大流量Horiba氣體質量流量計SEC-Z512是一款高穩定性、高精度的MFC，用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中，國內多回收、二次銷售。
我公司提供進口SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z532MGX、SEC-Z542MGX等，保證全新進口，終身維修。
SEC-Z522MGX horiba高精度氣體質量流量計Z522/Z532/Z542產品特點：
1)多種氣體及多種流量范圍，可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量，現場設定；
2)超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)；
3)快速響應：<1秒(全量程范圍內，任意設置點)；
4)非常方便的現場設置操作；
5)多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質量流量控制器，可以zui大限度地減少庫存；
6)與現有模擬式質量流量控制器兼容；
7)可選其他數字通訊：DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、模擬信號。
產品參數：
| 規格-數字-模擬轉換模式 | ||||
| 型號*1 | SEC-Z512、Z514 | SEC-Z512MGX | SEC-Z522MGXN | SEC-Z522MGX |
| SEC-Z514MGX | SEC-Z524MGXN | SEC-Z524MGX | ||
| 全標準流量 | 1/2SCCM | 10-50SLM | ||
| (N2 轉換流量) | 10SCCM-10SLPM | |||
| 閥門類型 | O: 通常打開 C: 通常關閉 | |||
| 關閉控制閥時的流量 | ≤ 2% F.S. | |||
| 流量測量范圍 | 0-100% of F.S. | |||
| 精確性*2 | ±1.0%F.S. | ±1.0%S.P.(流量>25%F.S.) | ||
| ±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.) | ||||
| 工作溫度 | 5 -50°C (建議溫度范圍: 15 -45°C) | |||
| 響應 | ≤ 1 秒:超過全流量范圍 | |||
| 直線性 | ≤ ±0.5% F.S. | |||
| 反復性 | ≤ ±0.2% F.S. | |||
| 工作壓差值 | ≤ 300 kPa (d) | |||
| zui大工作壓力 | 450 kPa (g) | |||
| 耐壓 | 1000 kPa (g) | |||
| 外部泄漏率 | ≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He) | |||
| 流量設定信號 | 0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 輸入阻抗 1 MΩ 或更高 | |||
| 流量輸出信號 | 0 -5 V DC (0% - F.S.); zui小負荷阻力 2 kΩ 或更高 | |||
| 數字界面 | 地址功能: RS-485 (轉換速度 38,400 bps) | |||
| F-Net 協議,DevceNet | ||||
| 接液部材質 | 316L 不銹鋼(表面拋光) | |||
| 電源 | +15V±5% 150mA | |||
| -15V±5% 150mA | ||||
| 信號反應 | 模擬: D-Sub 9-pin (TOP) | |||
| 數字: 2 LAN jacks (TOP) | ||||
| 標準接頭*3 | 1/4 inch VCR | 1/4 inch VCR | 1.5 inch IGS | |
| 選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS | 可選1.125 inch IGS | |||
| 安裝方向 | 自由 | |||
*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設定由操作者運用特殊軟件改變。
*2流量精度保證溫度符合 SEMI E56-1296 標準。精度是聯合全范圍MR以及MG數字值。
*3IGS: 完整氣體系統。
*SCCM 和 SLM 是表示氣體流量的記號。 (mL/min, L/min, at 0°C和101.3 kPa)
訂購注意：
請提供產品的介質名稱、氣體量程、接口尺寸。
如是設備備件的更換，請提供原產品的背面圖片和側面圖片、頂部圖片。
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