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產品分類產品中心/ products
產品型號：SEC-Z512、Z522、Z524
更新日期：2025-03-02簡要描述：數字式氣體質量流量計SEC-Z512MGX、Z522MGX多用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中，我公司提供進口Z514、Z524，保修期1年。
暢銷型號：SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。
可選低成本數字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
可選低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
國內組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300。
國內組裝數字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。
數字式氣體質量流量計SEC-Z512MGX、Z522MGX
一、產品概述：
SEC-Z512屬于SEC-500X系列，高性能數字式質量流量控制器多用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中，國內多回收、二次銷售，我公司提供進口Z514、Z524，保修期1年。
二、產品特點：
1)多種氣體及多種流量范圍，可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量，現場設定；
2)超高精度：±1.0% S.P.(25-100% F.S.);±0.25% F.S.(≤25% F.S.)；
3)快速響應：<1秒(全量程范圍內，任意設置點)；
4)非常方便的現場設置操作；
5)多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質量流量控制器，可以zui大限度地減少庫存；
6)與現有模擬式質量流量控制器兼容；
7)模擬通信與數字通信(DeviceNet)可同時進行；
8)氣體接觸部件材料：SUS 316L不銹鋼(1sccm~50slpm F.S.類型)；SUS 316L不銹鋼，Viton(氟化橡膠-密封)，PTFE(聚四氟乙烯)，磁性不銹鋼(100~200slpm F.S.類型)。
數字式氣體質量流量計SEC-Z512MGX、Z522MGX
三、SEC-Z512產品參數：
規格-數字-模擬轉換模式 | ||||
型號*1 | SEC-Z512、Z514 | SEC-Z512MGX | SEC-Z522MGXN | SEC-Z522MGX |
SEC-Z514MGX | SEC-Z524MGXN | SEC-Z524MGX | ||
全標準流量(N2轉換流量) | 1/2SCCM | 10SCCM-10SLPM | 10-50SLM | |
閥門類型 | O:通常打開 C:通常關閉 | |||
關閉控制閥時的流量 | ≤2% F.S. | |||
流量測量范圍 | 0-100% of F.S. | |||
精確性*2 | ±1.0%F.S. | ±1.0%S.P.(流量>25%F.S.) | ||
±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.) | ||||
工作溫度 | 5-50°C(建議溫度范圍:15-45°C) | |||
響應 | ≤1秒:超過全流量范圍 | |||
直線性 | ≤±0.5% F.S. | |||
反復性 | ≤±0.2% F.S. | |||
工作壓差值 | ≤300kPa(d) | |||
zui大工作壓力 | 450kPa(g) | |||
耐壓 | 1000kPa(g) | |||
外部泄漏率 | ≤5x10-12Pa·m3/s(He) | |||
流量設定信號 | 0.1-5V DC(2%-F.S.);輸入阻抗1MΩ或更高 | |||
流量輸出信號 | 0-5VDC(0%-F.S.);zui小負荷阻力2kΩ或更高 | |||
數字界面 | 地址功能:RS-485(轉換速度38,400bps) | |||
F-Net協議,DevceNet | ||||
接液部材質 | 316L不銹鋼(表面拋光) | |||
電源 | +15V±5% 150mA | |||
-15V±5% 150mA | ||||
信號反應 | 模擬:D-Sub 9-pin(TOP) | |||
數字:2LAN jacks(TOP) | ||||
標準接頭*3 | 1/4 inch VCR | 1/4 inch VCR | 1.5 inch IGS | |
選擇:1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS | 可選1.125 inch IGS | |||
安裝方向 | 自由 | |||
*1SEC(SEF)-Z512MGX,Z522MGX,和Z522MGXN氣體類型以及全范圍設定由操作者運用特殊軟件改變。 | ||||
本公司同時提供美國AALBORG、美國Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC質量流量計、質量流量控制器、數字式質量流量控制器、耐腐蝕質量流量控制器。
進口數字型號:SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z516MG。
進口低成本數字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N176MGM。
進口低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-E40V、SEC-E50V，kolfoc 3760、GFC17S、GFC37S、GFM47S、GFC57S、GFC67S、GFC77S，omega FMA1815S。
國內組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32。
國內組裝數字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。
Horiba液體流量控制器LV-F20 PO、LV-F30 PO、LV-F30 PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60 PO、LV-F20 MO、LV-F40 MO、LV-F60 MO、LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F50M、LF-F60M
配套的閥門管件：韓國TKF 1/4手動隔膜閥S4DVN-VM-P、1/2手動隔膜閥S8DVN-VM-P、1/4VCR五件套S4SG19-P、S4LG19-P、UN4GT、S4MN、S4FN，美國Valex不銹鋼管，1/4"EP級不銹鋼管、3/8"EP級不銹鋼管、1/2"EP級不銹鋼管。
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